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MSD系列小功率直流磁控濺射電源

MSD系列小功率直流磁控濺射電源

  • 所屬分類:MSD系列直流磁控濺射電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:42:58
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

主要型號:

型號

功率(kW)

工作電流(A)

外形尺寸

冷卻方式

空載電壓(V)

工作電壓

(V)

MSD-500W

0.5kW

1.0

482*132*440

(WHD)[3U]


風冷


750


100~500V

MSD-1000W

1kW

2.0

MSD-2000W

2kW

4.0

MSD-5kW

5kW

8.0

482*175*550

(WHD)[4U]

風冷

1000

150~800V


主要特點:
   A 采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,
同時提高了抑制打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式,
更能保證鍍膜工藝的重復性。
  C 具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定制,相對生產型設備的直流磁控濺射電源,
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調制技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該系列產品采用先進的DSP控制系統,充分保證鍍膜工藝的重復性,
并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶面清洗工藝的穩定性,又提高了靶面清洗速度;
主要參數均可大范圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控制。


主要用途:

直流磁控濺射用于鍍制各種金屬。


真空鍍膜電源的故障現象分析及排除,在實際使用的過程中,真空鍍膜機就出現過不少故障,其中高壓電源部分的故障較多,也比較復雜,下面就幾種典型的故障進行分析。

真空鍍膜電源

1、增加電子束流時,高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候,設備的主開關電路中的開關管處于飽和的導通狀態,當管壓下降保持在100V左右的時候,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測電路上得到的電壓控制信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定的值,主開關管處于截止狀態,承受全部的高壓,讓高壓無法輸出。由于打火而造成束流過大的時候,在電流檢測電路時取得的過流信號,使得穩壓管被擊穿導通,管壓處于導通狀態,這時高壓就沒有指示了。


2、無束流時,高壓指示不穩定

在正常的情況下,即使有束流高壓指示也應該是穩定的,無束流時高壓指示不穩定,高壓表指針就會來回的擺動,這就是不正常情況。從原理上分析,高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便于排查,先將高壓電源和負載分開,如果問題還在,就證明問題不在負載那方面,而是在高壓電源那方面,高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流時,高壓指示頻繁的擺動,就是高壓出現連續性的過流打火,自動復位部分就開始運行,使得高壓電源的主開關管始終處在切斷和導通這兩種狀態,反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發現,有時會出現這種故障并不是由于高壓電源內部的原因,而是真空室內有污染,因為設備使用了很多年,鐘罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下,會產生二次、三次電子,從而產生較大的假束流,使得主開關管不停的導通和截止,高壓指示就不穩定了。消除這種故障,可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗,如味故障還沒有補消除,再將鐘罩內所有的器件和鐘罩內壁進行徹底的清洗,故障就會被消除,高壓指示就不會在頻繁的擺動了。


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