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真空鍍膜電源廠家簡述離子鍍的原理

2020-08-25 00:00:00

離子鍍種類很多,蒸發遠加熱方式有電阻加熱、 電子束加熱、等離子電子束加熱、高頻感應加熱等。

真空鍍膜電源廠家

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把 輝光放電現象、 等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。多弧電源其優點是薄膜 附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。真空鍍膜電源廠家首次提出離子鍍原理,起工作過程是:


先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的 真空度,再接通 高壓電源,在蒸發源與基片之間建立一個低壓氣體放電的 低溫等離子區?;姌O接上5KV直流負高壓,從而形成輝光放電陰極。輝光放電去產生的惰性氣體離子進入陰極暗區被電場加速并轟擊基片表面,對其進行清洗。然后計入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子區,與惰性氣體離子及電子發生碰撞,少部分產生離化。離化后的例子及氣體離子以較高能量轟擊 鍍層表面,致使膜層質量得到改善。


然而多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍采用的是弧光放電,而并不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成 等離子體,對基體進行沉積。


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