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關于真空離子鍍膜的作用

2020-07-25 00:00:00

真空鍍膜電源廠家的在真空離子鍍膜中,尤其對于多弧離子鍍膜,無論是裝飾鍍還是工具鍍,轟偏電源的好壞對于成膜質量都起著非常關鍵的作用。裝飾鍍和工具鍍對膜層質量的要求有相同之處又各有側重。

離子源電源

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把 輝光放電現象、 等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。多弧電源其優點是薄膜 附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原理,起工作過程是:


先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發源與基片之間建立一個低壓氣體放電的 低溫等離子區?;姌O接上5KV直流負高壓,從而形成光放電陰極。輝光放電去產生的惰性氣體離子進入陰極暗區被電場加速并轟擊基片表面,對其進行清洗。然后計入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子區,與惰性氣體離子及電子發生碰撞,少部分產生離化。離化后的例子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面,致使膜層質量得到改善。


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